第一百九十二章 让人尴尬的手机壳(3/3)

f光刻机的曝光方式是扫描投影式曝光，也被称之为扫描式光刻机。”

    “而扫描曝光，也是更先进的duv干式乃至duv浸润式光刻机采用的曝光方式，技术原理是一样的！”

    “通过研发这款rf光刻机，某种意义上我们已经算是掌控了duv光刻机的部分技术！”

    “光源上，我们采用的是深紫外线光源，分辨率达到了248纳米，可以用于最小制程130纳米的芯片生产！”

    “研发这款光刻机，进一步锻炼了我们团队的技术研发能力，同时也为duv干式光刻机的研发打下了坚厚的基础！”

    “后续我们的主要工作就是进一步优秀改进现有的光刻机平台，同时整合研发光源系统，争取早日把duv干式光刻机做出来！”

    “在光源上我们的兄弟公司南方光学的进展还是比较顺利的，他们已经对arf光源进行前期的测试了，明年大概率就能够搞出来初步的arf光源系统，而我们这边继续研发的话，整机系统有望明年年底拿出来！”

    徐申学听罢后“很好，继续努力做吧，希望明年年底能看到这个duv光刻机！”

    “还是我之前说过，你们只管努力做，资金问题不用担心，供应链这边有什么欠缺报告上来，我会安排人处理！”

    “只要东西做出来了，也不用担心没市场，集团那边会提供充足的订单！”

    “就和之前的i-ine光刻机以及现在的rf光刻机一样，你们只要搞出来更先进的duv干式光刻机，订单是不用担心的！”

    这个时候，陪着徐申学一起过来的智云微电子的总经理丁成军也开口道“之前我们已经累计下单了三十三台的i-ine光刻机，你们这个rf光刻机如果通过我们的技术验收，价格方面也适合的话，今年内我们就可以给你最少二十台的订单！”

    “这个rf光刻机我们智云微电子的需求量还是很大的，不仅仅先进生产线里要用，在一些八寸线上生产一百多纳米的产品也需要大量用到！”

    “如果你们能够搞出来duv干式光刻机，那么订单就更多了，六十五纳米以及九十纳米制程，还是我们公司的主力制程，对duv干式光刻机的需求量极大！”

    “然后du浸润式光刻机的话，你们也要加快进度啊，这个光刻机太贵了，好几千万美金一台，你们早一点搞出来我们也能省点采购成本！”

    听到丁成军这话，海湾科技的王道林却是面露难色！

    光刻机问题，他们在i-ine光刻机、rf光刻机上都没遇到什么问，因为国内已经有了成熟可用的供应链。

    但是duv干式光刻机的话，那么问题可就比较大了，这玩意的arf光源可不好搞……但是就算不好搞，他多少还有点信心在最近两年内搞出来。

    至于duv浸润式光刻机，说实话，王道林自己也不知道什么能搞出来。

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